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了解一下三维光学轮廓仪的原理及功能吧

更新时间:2022-11-08点击次数:438
  三维光学轮廓仪检测设备主要对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。
 
  三维光学轮廓仪检测设备是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器,主要对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
 
  下面让我们一起来了解一下三维光学轮廓仪的原理及功能吧
 
  原理:
 
  三维光学轮廓仪是利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。它的显著特点是可以达到纳米级的检测精度,并可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测,其主要用途是用于成品的质量管理,确保良品合格率。
 
  可广泛应用于各类精密工件表面质量要求很高的如︰半导体、微机电、纳米材料、生物医疗、精密涂层、科研院所、航空航天等领域。可以说只要是微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量,除了三维光学轮廓仪,没有其它的仪器设备可以达到其精度要求。
 
  产品功能
 
  1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
 
  2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
 
  3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
 
  4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
 
  5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
 
  6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。