了解一下三维光学轮廓仪的主要功能吧

更新时间：2023-02-10

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　　三维光学轮廓仪对各种产品，部件和材料的表面轮廓，粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析的精密仪器。

　　下面让我们一起来了解一下三维光学轮廓仪的主要功能吧：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°(粗糙表面达86°)。共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

　　2、相位差干涉(PSI)

　　相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。

　　3、白光干涉(VSI)

　　白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。

　　4、多焦面叠加

　　多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。

　　5、薄膜测量

　　用分光反射计可以完善地解决薄膜厚度测量。Sneox在增加了分光反射计后可以测量10nm的膜厚和多10层膜。由于是通过显微镜头测量，小的测量点为5um。因为系统里有组合的LED光源，所以实时观察和膜厚测量能同时进行。