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方阻测试仪

产品简介

Filmetrics R50 是KLA电阻测试家族的最新产品。R50方阻测试仪是KLA超45年电阻测量技术地位之作。电阻测量和监控对于任何使用导电薄膜的行业都至关重要,从半导体制造到可穿戴技术所需的柔性电子产品。R50在金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测均进行了优化加强。

产品型号:R-50
更新时间:2023-06-09
厂商性质:代理商
访问量:1938

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021-64283335

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品牌其他品牌价格区间面议
检测参数多参数仪器种类台式
应用领域电子,航天,汽车,电气,综合

KLA薄膜电阻测量技术方阻测试仪包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。

Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜,跨越10个数量级范围电阻率,包括:

半导体晶圆基板

玻璃基板

塑料(柔性)基材

PCB图案特征

太阳能电池

平板显示层和图案化特征

金属箔

二、方阻测试仪主要功能

l 技术规格

测量范围:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

测量精度: +/- 1%;

重复度: 小于 0.2%;

样品图中无*的测量点位,自定义测量Recipe,可线性、矩形、

极坐标以及自定义等。

Model

Description

R50-4PP

四探针测试

自动XY移动台-100mm*100mm

可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量

可放置直径200mm晶圆样品

R50-EC

非接触涡流测试

自动XY移动台-100mm*100mm

可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量

可放置直径200mm晶圆样品

R50-200-4PP

四探针测试

自动XY移动台-200mm*200mm

可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量

R50-200-EC

非接触涡流测试

自动XY移动台-200mm*200mm

可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量

三、应用

支持广泛的测量,包括但不限于以下各项:

金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。



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