方阻测试仪

简要描述：Filmetrics R50 是KLA电阻测试家族的最新产品。R50方阻测试仪是KLA超45年电阻测量技术地位之作。电阻测量和监控对于任何使用导电薄膜的行业都至关重要，从半导体制造到可穿戴技术所需的柔性电子产品。R50在金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测均进行了优化加强。

产品型号：R-50
厂商性质：代理商
更新时间：2023-06-09
访问量：1568

产品咨询联系我们

详情介绍

品牌	其他品牌	价格区间	面议
检测参数	多参数	仪器种类	台式
应用领域	电子,航天,汽车,电气,综合

KLA薄膜电阻测量技术方阻测试仪包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜，跨越10个数量级范围电阻率，包括：

半导体晶圆基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB图案特征

太阳能电池

平板显示层和图案化特征

金属箔

二、方阻测试仪主要功能

l 技术规格

测量范围：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

测量精度： +/- 1%；

重复度：小于 0.2%；

样品图中无*的测量点位，自定义测量Recipe，可线性、矩形、

极坐标以及自定义等。

Model	Description
R50-4PP	四探针测试自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量可放置直径200mm晶圆样品
R50-EC	非接触涡流测试自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量可放置直径200mm晶圆样品
R50-200-4PP	四探针测试自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量
R50-200-EC	非接触涡流测试自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量