原位自动纳米操作系统

原位自动纳米操作系统技术特点

*兼容主流电镜，不影响电镜功能

运动定位性能：行程大、亚纳米分辨率

位移传感器集成自动化和可编程运动

SEM真空环境优化设计，可快速安装与拆卸

原位自动纳米操作系统技术能力

力学测量

LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈，实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕，以及对单根纳米线的拉伸测试。

电学特性

LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量，以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。

拾取和放置操作

使用末端工具（例如：探针、微纳米夹持器、超 声切割针），操作者能够操作LifeForce纳米操 作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和 抓取等操作。

制作微纳米器件

精密的操作手运动能够实现微纳米器 件的快速成型和后处理。实例照片展 示的是纳米线FET传感器的构造。

纳米电子器件电学测量

LifeForce纳米操作机是是市面上能够自动探测电子 结构（范围从亚微米，亚100nm及亚20nm）。只需要通过计算机点击鼠标，将探测针定位到目标位置。低定位漂移，保证数据采集的可靠性。