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德国SURFACE超高真空脉冲激光镀膜系统

简要描述:德国SURFACE公司自1993年起就从事脉冲激光沉积镀膜系统(PLD)的研发和制造工作,在这期间SURFACE公司不但向市场提供了标准的PLD系统,而且也提供专门为客户订制的PLD系统。本产品的特点有:SURFACE基底运载系统、靶切换系统、模块化的系统概念

  • 产品型号:SURFACE-PLD
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2018-05-14
  • 访  问  量:1066
详情介绍

 德国SURFACE超高真空脉冲激光镀膜系统

        德国SURFACE公司自1993年起就从事脉冲激光沉积镀膜系统(PLD)的研发和制造工作,在这期间SURFACE公司不但向市场提供了标准的PLD系统,而且也提供专门为客户订制的PLD系统。经过了这么多年的发展,SURFACE公司开发出许多能够满足客户需求的产品和技术。

 

1SURFACE基底运载系统

对机械来说,热均匀和热隔离的有效性是十分重要的。这其中,精确的热电偶是关键的质量因素。SURFACE常规电阻1英寸基底运载器、嵌入式Omicron原子力基底夹、热电偶直接嵌入基底运载系统,30mm的基底中间区域、基底和银酱一起安装在激光切边运载器上。运载系统可转换并直接嵌入热电偶这保证大多数的温度测量。

 

 

 

2、靶切换系统

超高真空技术需要反应釜通过一个负载锁的腔体进行相互作用。从一开始,SURFACE就意识到这一点,并设计了一个靶转盘来实现这一需求。多层盖板避免了强热的基底转移到靶材。所有靶材是受保护,以防止交叉污染。盖板能够非常容易地被更换,无需工具。靶材将通过磁场操纵或位于*转移腔的内部转移操纵手被转移。该耦合和靶材的精确检索是自动完成的。靶转盘和切换动力保证了均质烧蚀过程。

 

 

 

3、模块化的系统概念

SURFACE公司多年来一直从事于研发超高真空材料科学系统。在大多数情况下,一个系统的工作负载起始于一个单一的过程控制,往往过了一段时间以后,客户的需求会增多。为了通过附加的过程控制提升整套设备的功能,SURFACE公司认识到需要用完整的模块化概念来解决这个问题。从向市场提供单一的腔体加上负载锁,一直到提供更多的扩展,而不需要冒任何将来转换而产生的风险。



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