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  • 离子束沉积
    离子束沉积

    离子束沉积作为纳米结构的基本组成单元,团簇或纳米颗粒在纳米科学中具有关键的地位。我们设计研制了两套气体聚集型团簇源:基于热蒸发的气体聚集团簇束流源和磁控等离子体聚集型团簇源。以团簇源为中心构成了团簇束流实验和沉积系统。

    更新时间:2022-04-24型号:浏览量:175
  • 纳米团簇束流沉积系统
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    更新时间:2018-05-14型号:浏览量:1493
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