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原子层沉积系统镀膜机

产品简介

原子层沉积系统镀膜机
经济型科研沉积平台
稳定成膜、均匀可靠、面向材料研究
便捷、稳定、再现性高

产品型号:
更新时间:2026-03-19
厂商性质:代理商
访问量:11
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品牌其他品牌价格区间面议
应用领域电子/电池,航空航天,综合

原子层沉积系统镀膜机

设计理念 

 1. SE series可执行Thermal-ALD,PEALD,与ALA等*制程。

 2. SE series具有高度的改造弹性,但其性能与稳定性并不因此而牺牲。 

3. 原子层沉积系统设计具有便捷、稳定、再现性高的产品定位。

 设计特点 

 1. 模块化前驱物导入系统易于维护、维修与扩充最多4组前驱物,并可使用 低蒸汽压前驱物;分流避免管路堵塞与粉尘问题 

2. 低泄露率特殊设计,可摒除低剂量污染源影响制程结果 

3. 满足现行多数材料制程需求: Oxide or nitride of Al,Si,Ti,Zr,Hf,etc..Metal(TBD) 4. 单系统宽54cm内,实验室友好尺寸 

5. 特殊电浆源设计(Remote plasma)可提升GPC 6%(相较于ICP) 

6. 特殊进气设计改善均匀性(U%<2%)针对死角残留问题进行特殊设计

原子层沉积系统镀膜机

原子层沉积系统镀膜机


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