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电子束曝光系统
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电子束曝光系统:微观世界的精密画师
高精度轮廓仪让方钢的缺陷无可遁藏
该如何使用高精度轮廓仪看看本篇你就知道了
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st台加速电压达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
服务热线:13501903943