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    ELS-F125/F100/HS50电子束曝光系统

    ELS-F125是Elionix推出的世界上1st台加速电压达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)

    更新时间:2022-06-01型号:ELS-F125/F100/HS50浏览量:260
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