欢迎光临上海纳腾仪器有限公司网站!
诚信促进发展,实力铸就品牌
服务热线:

13501903943

产品分类

Product category

相关文章

Related articles

产品展示 / products 您的位置:网站首页 > 产品展示 > > 电子束曝光系统 > ELS-F125/F100/HS50电子束曝光系统

电子束曝光系统

简要描述:ELS-F125是Elionix推出的世界上1st台加速电压达125KV的电子束曝光系统,其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)

  • 产品型号:ELS-F125/F100/HS50
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-06-01
  • 访  问  量:259
详情介绍
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,电子,电气,综合

电子束曝光系统ELS-F125具有以下优点:

l  超高书写精度

- 5 nm 线宽精度 @125 kV

- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应小化 @125 kV

 

l  大通量、均匀性好

- 宽视野书写:500um视场下10 nm线宽

- 高束流下电子束直径依然很小,大通量而不影响分辨率,2 nm电子束直径@1 nA

 

l  界面用户友好

基于Windows系统的CAD和SEM界面:

-简单易用的图案设计功能

-易于控制的电子束条件

 

二、电子束曝光系统主要功能:

l  主要应用

纳米器件的微结构

集成光学器件,如光栅,光子晶体等

NEMS结构,复杂精细结构

光刻掩模板,压印模板

l  技术能力

   

 

三、应用:

   

   


 

 

 

 

留言询价

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

联系我们

contact us

咨询电话

021-64283335

扫一扫,关注我们

返回顶部