自由曲面三维面型检测仪 自由曲面光学元件应用于智能车载显示、AR 显示、手机镜头、激光显示、照明、 光刻等前沿领域，自由曲面三维面型检测仪，能够非接触测量光学镜面元件的三维面型数据，开展三维轮廓分析和三维误差比对，并生成包含多项面型误差指标的测量报告。 从产品研发到生产过程及质量控制，这款独立的系统可用于开展光学设计、加工与检测的前端研发设计过程、智能生产过程和后端质量检测过程。

具备三维翘曲（平整度）及薄膜应力的检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆生产

Strain Viewer 内应力检测仪 具备化合物晶圆内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能