激光直写光刻机

激光直写光刻机microPREP™PRO系统是为了提供适合显微结构诊断和故障诊断需要的高效激光样品制备而开发的。因此，利用超短脉冲激光可以有效、经济地制备材料样品，为其提供了最佳的样品制备技术。  

激光直写光刻机产品特点：  

自由形式或盒铣削和线切割，快速进入想要的地区  

加载任何几何图形到系统中  

使用旋转工具为XRM和同步加速器准备圆柱形样品  

在一次运行中使用多个示例可以提高吞吐量  

自动化阶段，以最快的速度找到想要的区域  

Recipe-driven软件使得样品的制备更加快速和简单  

用全景相机定位到想要的区域  

通过使用超短脉冲激光，microPREP™PRO适合用于样品制备，其主要优点是结构损伤小，功率密度高，目标精度在微米级。因此，microPREP™PRO可用于金属、半导体、陶瓷以及化合物和聚合物的激光切割和局部激光细化。  

应用：  

激光切割和个别样品制备  

扫描电镜和显微分析  

微观力学样品制备(dog-bones或其他几何形状)  

透射电镜的结构平面内和截面(基于microPREPXL-Chunk台)  

X射线显微镜  

Pre-shapedAPT样品