P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了低成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪P17。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力2D和3D测量，扫描可达200mm无需图像拼接。结合UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，有出色测量稳定性。

P-7晶圆探针式轮廓仪/台阶仪保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看， P-7具有较好的测量重复性。

KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，带有电动载物台。可测量纳米级至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。这种Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪有着可选的3D轮廓分析功能。