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  • P170全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
    P170全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪

    P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了低成本,适用于半导体,化合物半导体和相关行业。 P-170全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

    更新时间:2022-03-10型号:P170浏览量:706
  • P17自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
    P17自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪

    自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪P17。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力2D和3D测量,扫描可达200mm无需图像拼接。结合UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台,有出色测量稳定性。

    更新时间:2022-06-01型号:P17浏览量:237
  • P7晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
    P7晶圆探针式轮廓仪/台阶仪

    P-7晶圆探针式轮廓仪/台阶仪保持了P-17技术的测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看, P-7具有较好的测量重复性。

    更新时间:2022-06-01型号:P7浏览量:770
  • D-600Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪
    D-600Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪

    KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600,带有电动载物台。可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。这种Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪有着可选的3D轮廓分析功能。

    更新时间:2022-06-01型号:D-600浏览量:396
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