非接触式优点就是测量装置探测部分不与被测表面的直接接触，保护了测量装置，同时避免了与测量装置直接接触引入的测量误差。 Zeta-20三维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术。 ZDot 测量模式同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像。其他测量技术包括白光干涉法、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于样品审查或自动缺陷检测。

Profilm 3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济三维光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。 我司有此机器可测样。