非接触式优点就是测量装置探测部分不与被测表面的直接接触，保护了测量装置，同时避免了与测量装置直接接触引入的测量误差。 Zeta-20三维光学轮廓仪集成了六种光学计量技术。 ZDot 测量模式同时采集高分辨率 3D 扫描和真彩色无限对焦图像。其他测量技术包括白光干涉法、Nomarski 干涉对比显微镜和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于样品审查或自动缺陷检测。

Profilm 3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济三维光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。 我司有此机器可测样。

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了低成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪P17。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力2D和3D测量，扫描可达200mm无需图像拼接。结合UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，有出色测量稳定性。

P-7晶圆探针式轮廓仪/台阶仪保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了好的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看， P-7具有较好的测量重复性。