KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，带有电动载物台。可测量纳米级至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。这种Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪有着可选的3D轮廓分析功能。

产品类型：白光、共轭焦、非接触 μSurf结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物鏡垂直移动，以类似断层摄影方式，精确量测物体高度(如下图所示)。 由于使用了共轭焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他同类公司产品使用较多的干涉法相比，可以精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。

μScan采用模块化设计，特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化，μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器，(Z方向测量)连用，如Confocal point sensor、Autofocus sensor、 Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。

AF2 自动对焦(Autofocus) 借由探测器的回馈讯号调整物镜位置，得到待测物焦点，而获得待测物的确实高度(如下左图)。 CF4 共轭焦(Confocal, Laser) 激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上，此时偵测器能经由孔洞得到Z大光的强度，如此侦测器根据此讯号确定其位置